文 |   半导体产业纵横白虎，作家 | 九林

1984 年 4 月 1 日愚东说念主节这一天，飞利浦和跟荷兰的一家小公司合伙，成了一家新公司。新公司的缩写叫 ALS，跟渐冻症的缩写是相似的。一直到 1996 年，这家公司更名叫 ASML。

也等于当今，大名鼎鼎的 ASML。

本年，ASML 的 High NA EUV 光刻机成为成立新晋"顶流"。其数值孔径（NA）从之前尺度 EUV 光刻机的 0.33 进步到了 0.55 ，镜头的分辨率从之前的 13 nm 进步到了 8 nm，大致已毕 2nm 以下先进制程大界限量产。英特尔、台积电、三星哪怕奢靡巨资也要拿下。

ASML 光刻巨头的商业申明鹊起，本年 ASML 又卖了几许台光刻机？

  01  ASML 有哪些光刻机？

想要知说念 ASML 究竟卖了几许光刻机，首先要简便了解一下这个光刻巨头到底造了哪些类型的光刻成立。

ASML 的成长史，不错说是光刻机迭代史。

PAS 2000、PAS 2500 的起步阶段

咱们回到首先的 1984 年，更生的 ASML 呱呱堕地。其时 ASML 的家具唯有 16 台飞利浦手脚库存的 PAS 2000。但这款光刻机采取油压传动台，有着庞大的颓势，莫得客户看得上。

在发现了 PAS 2000 问题后，ASML 决定开辟新一代采取电动晶圆台的光刻机，型号 PAS 2500。1986 年推出相配棒的第二代家具 PAS 2500，并第一次卖给好意思国其时的创业公司赛普拉斯（Cypress）。

1988 年，飞利浦将 MEGA 坐褥线搬到了台积电，效果突发一场失火。于是台积电想 ASML 采购了 17 台 PAS 2500，成为了 ASML 的最大客户。恰是因为这些订单，AMSL 终于运行盈利了。

PAS 5500，一战成名

PAS 5500 是 ASML 的成名之战，1991 年发布，大致已毕扫描式光刻。这时候 IBM 秘书将成为第一家在 8 英寸晶圆上制造芯片的公司。PAS 5500 通过了 IBM 的产业考证，已毕了小批量委用。

PAS 5500 按照模块化想象，客户不错凭据不同工艺糟蹋选配不同部件包，包括：55/100/200B/250C/300B/400D/700B/750E/850C 等等等，涵盖了各式光源（i 线和 KrF），各式尺寸（4-12 英寸），各式镜头（i 线和 KrF 镜头），各式投影方法（stepper/scanner）。

这就使得一台成立大致已毕百花皆放。

PAS 5500 的战绩不啻于 IBM，三星装机第一台 PAS 5500 后坐褥出了 250nm 工艺的 16Mb 存储器。SK 海力士在 1996 年装机后，1998 年平直成为了 AMSL 的最大客户。

TWINSCAN 和浸没式期间白虎

时辰来到了 1990 年代末，光刻机的波长也从 248nm 进入到 193nm，这等于着名的 ArF 准分子激光器。

产业在 193nm 波长上卡了近 20 年。干式 193nm 光刻机的极限工艺是 65nm，再往下就很难已毕了。产业内冷落了各式高出 193nm 的有策划，相对而言 157nm 期间难度稍低。这时候，AMSL 收购了好意思国光刻机厂商 AVG，储备了 157nm 和 EUV 光刻机。

直到 2002 年，在 157nm 期间磋商会上，台积电的林本坚冷落了浸没光刻期间，找到了 134nm 波长，一石激起千层浪。

天然浸入式光刻机的构想相配高深，但从工程角度看，它并不难完成。ASML 很快就按照想象制造出了 134 纳米波长光源的浸入式光刻机，TWINSCAN AT:1150i 。

2006 年 ASML 推出了第一台批量坐褥的浸入式机器 XT:1700i。2008 年又推出了 TWINSCAN NXT:1950i 可用于 32 纳米芯片的量产，并速即股东 ASML 开辟出一系列用于亚 32 纳米制程节点的光刻系统，包括 NXT:1960i、NXT:1965i、NXT:1970i 等。

更变时间的 EUV

为了巩固地位，AMSL 在开辟浸入式光刻机的同期，就照旧向极紫外光源发起挑战。它摸索出了一种新的 EUV 产生要道：用激光轰击锡珠，让其化为等离子态，从而产生 EUV。基于这个要道，ASML 于 2010 年推出了第一台 EUV 样机。

不外，将样机变为不错销售的商品还需要好多参加，预期的参加可能达到每年 10 亿欧元，以 ASML 的财力并莫得才气独自完成这一切。为了惩办这个问题，它邀请了英特尔、三星和台积电入股共同研发。终于，在 2013 年，量产的 EUV 光刻机 NEX:3300B 面世了——也就在这一年，温宁克和范登布林克接过了公司的教唆权。

之后，AMSL 于 2017 年推出了 TWINSCANNXE:3400B，将光刻机的制程（即最小的电路栅格间距离）从 7 纳米推到了 5 纳米。2020 年头，AMSL 发货了第 100 台 EUV 光刻机。

再到 2023 年，再次推出了 High NA EUV 光刻机 TWINSCAN EXE:5000。从 AMSL 的阶梯图来看，在 2025 年还要推出将新一代 High-NA EUV 系统 EXE:5200。

02  ASML 卖了几许光刻机？

笔者翻阅 ASML 财报，整理了其自 2012 年运行的出货数据。ASML 出货与其不休成长的光刻过程息息有关。

DUV 光刻机，出货量的主力军

ASML 2012-2023 光刻机出货量（傍边滑动搜检一皆列表）

若是按照光源类型分辨，不仅有 EUV 光刻机，还有 ArF 浸入式光刻机、ArF 干式光刻机、KrF 光刻机、i-line 成立等。其中，ArF、ArF 和 KrF 都属于深紫外线光刻机 ( DUV ) ，这亦然刻下半导体制造的主力。从 2012 年到 2023 年，ASML 出货量 2235 台 DUV 光刻机。

从 2012 年的出货量来看，ArFi 和 KrF 等深紫外线光刻机 ( DUV ) 出货量远超 EUV 光刻机。毕竟，如前文锁述，大致量产的 EUV 亦然在 2013 年才厚爱亮相。从上图来看，ArFi 出货数目一直保抓在 70-80 台傍边，但 2023 年出现了暴涨，平直出货 125 台。KrF 出货量原先也一直保管在 70 傍边，但从 2020 年运行每年增长近 30 台傍边。

2020、2023 这两个时辰节点巨匠都不目生。在 2023 年末，荷兰和好意思国最新颁布的出口顾问步调照旧成功。其时阿斯麦首席财务官 Roger Dassen 默示：" 2024 年咱们将不会获取向中国发运 NXT:2000i 及以上浸润式成立的出口许可证，此外，个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获取发运 NXT:1970i 和 NXT:1980i 浸润式成立的许可证。"

2023 年，ASML 卖了 449 台光刻机，其中有 53 台是 EUV 光刻机，396 台是 DUV 光刻机。2023 年 DUV 光刻机的出货量，很大一部分来自于中国市集。

EUV 光刻机，滚动点在 2022

ASML 2012-2023 光刻机净销售额（单元：亿欧元）

从 2012 年 -2023 年，AMSL 一共出货了 233 台 EUV 光刻机。百位数的 EUV 光刻机的出货量对比千位数的 DUV 光刻机。不错说，出货数目少的怜悯，但架不住 EUV 腾贵的价钱。ASML 目下在售的双工件台 EUV 光刻机单价约 1.2 亿好意思元至 1.5 亿好意思元傍边。而其新一代高 NA EUV 光刻机造价更是高达 3 亿至 3.5 亿欧元（约合东说念主民币 21.95 亿至 25.61 亿元）。

从上图来看，自 2019 年运行，ASML 的 EUV 光刻机销售额出现了较大的增长，而自 2020 年销售额达到 44 亿欧元后，平直逾越了过去的 ArFi 光刻机的销售额（40 亿欧元）。从此之后，EUV 光刻机的销售额就一骑绝尘。即使 2023 年，ArFi 光刻机出货数目爆增到 125 台，卖出的价钱也唯有 86 亿欧元。EUV 光刻机的总销售额还逾越其 5 个亿欧元。

地区营收，谁购买了最多的光刻机？

ASML 地区出货销售额（单元：亿欧元）（傍边滑动搜检一皆列表）

2012 年运行，韩国、中国台湾地区、好意思国关于 ASML 光刻机的购买力是比较强的。其时中国大陆被列为亚洲其他地区，进而打算销售额。自 2015 年后，由于中国大陆购买金额增长，被 ASML 财报再单拎出来，以上 2015 年后的亚洲其他地区数据实质为中国大陆的数据。

上图中，中国台湾地区关于光刻机的购买需求历久隆盛，基本是占了大头。但也不难明白，台积电作为全球第一的晶圆大厂，其成本支拨一直是顶尖的。不错看到，从 2019 年到 2020 年，ASML 对中国台湾的销售额有彰着飞腾。对比其时的历史来看，这个是节点台积电正运行量产 7nm+ 制程（也等于 EUV 版的 7nm），因此销售金额增长不及为奇。

韩国的光刻机购买金额，从 2018 年到 2019 年有一个庞大的下滑，但需要能干的是，其 2017 年、2018 年的金额达到 30 亿欧元，相较之前 15 亿欧元翻了一倍。2019 年恰是上一个

中国大陆地区关于光刻机的购买金额一直保管在 20 亿欧元傍边，但 2023 年暴涨了 61 亿欧元，再次印证了前文所述，大陆只可在禁令下来前，现行购买部分光刻机。

03 2024 年，ASML 又卖了几许台光刻机？

看已矣 ASML 前十二年的回来，咱们来仔细望望，在禁令推行的第一年，ASML 卖的奈何吧。

从地区来看，日本第一季度莫得购买、欧洲第三季度也莫得购买。值得能干的是，韩国脉年依旧花了近 30 亿欧元购买光刻机，但正本一直占销售大头的中国台湾刚刚花了 16 亿欧元。同期，大陆的购买力也相配强，比拟客岁全年的 61 亿欧元，本年才三个季度，照旧在 ASML 这里购买了 70 亿欧元的成立了。若是大陆 Q4 自如按照 20 亿欧元的购买力度，那本年中国大陆的销售额会再立异高，致使达到 90 亿欧元。

在 ASML 公布 2023 年全年财报时白虎，也对 2024 年的功绩作念出了瞻望。以为 2024 年的净销售额将与 2023 年基本抓平，而 ASML 2023 全年净销售额是 276 亿欧元。按照 276 亿欧元打算，本年中国市集将占 ASML 功绩的三分之一。